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電子光(guāng)學潔淨車間

産品參數/ Product parameter

光(guāng)學微電子淨化(huà)工程之定義爲将一定空間範圍内之空氣中的(de)微塵粒子、有害空氣、細菌等之污染物(wù)排除,并将室内之溫濕度、潔淨度、室内壓力、氣流速度與氣流分(fēn)布、噪音(yīn)震動及照(zhào)明(míng)、靜電控制在某一需求範圍内,而所給于特别設計之密閉空間。
光(guāng)學微電子淨化(huà)工程亦名無塵室或清淨室,目前已是半導體、精密制造、液晶制造、光(guāng)學制造、線路闆制造和(hé)生物(wù)化(huà)學、醫藥、食品制造等行業不可(kě)或缺的(de)重要設施。近幾年來(lái),由于技術之創新發展,對(duì)于産品的(de)高(gāo)精密度化(huà)、細小型化(huà)之需求更爲迫切,如超大(dà)型積體電路之研究制造,已成爲世界各國在科技發展上極爲重視的(de)項目,而我公司的(de)設計理(lǐ)念及施工技術在行業中則處于領先地位。
光(guāng)學微電子淨化(huà)工程一般包括:
1、 潔淨生産區(qū)
2、 潔淨輔助間(包括人(rén)員(yuán)淨化(huà)用(yòng)房(fáng)、物(wù)料淨化(huà)用(yòng)室和(hé)部分(fēn)生活用(yòng)室等)
3、 管理(lǐ)區(qū)(包括辦公、值班、管理(lǐ)和(hé)休息等)
4、 設備區(qū)(包括淨化(huà)空調系統應用(yòng)、電氣用(yòng)房(fáng)、高(gāo)純水(shuǐ)和(hé)高(gāo)純氣用(yòng)房(fáng)、冷(lěng)熱(rè)設備用(yòng)房(fáng))
光(guāng)學微電子淨化(huà)工程淨化(huà)原理(lǐ)
氣流→初效淨化(huà)→空調→中效淨化(huà)→風機送風→管道→高(gāo)效淨化(huà)風口→吹入房(fáng)間→帶走塵埃細菌
等顆粒 → 回風百葉窗(chuāng)→初效淨化(huà) 重複以上過程,即可(kě)達到淨化(huà)目的(de)。
光(guāng)學微電子淨化(huà)工程淨化(huà)參數
換氣次數:100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次。壓差:主車間對(duì)相鄰房(fáng)間≥5Pa
平均風速:10級、100級0.3-0.5m/s;溫度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波動±2℃。
溫度45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右爲宜;電子車間濕度略高(gāo)以免産生靜電。
噪聲≤65dB(A);新風補充量是總送風量的(de)10%-30%;照(zhào)度300LX。






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